| 具有改进的扫描速度的扫描探针显微镜 |
| US11926342 2007-10-29 发明申请 |
| 2009-4-30 |
| 本发明公开了一种扫描探针显微镜及其使用方法。 扫描探针显微镜包括探针，机电致动器和控制器。 探针具有响应于尖端和样品的局部特征之间的相互作用而移动的尖端。 所述机电致动器在三维中相对于所述探针尖端移动所述样品。 控制器在其中一个维度上将探针尖端相对于样品保持固定关系， 并使机电致动器在另两个维度中相对于探针尖端沿着平滑路径移动样品，以在沿着平滑路径采样的区域中产生样品中的物体的图像。 |
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