| 一种模块化原子力显微镜测头 |
| CN202311628077.9 2023-12-1 发明申请 |
| 2024-1-16 |
| 本发明公开了一种模块化原子力显微镜测头，包括激光测量模块、探针模块和扫描模块；所述激光测量模块包括光学位移调整架、安装座、固定板、激光头，所述探针模块包括探针基座、压电陶瓷片和微悬臂梁探针，所述扫描模块包括二轴位移台和安装于二轴位移台上的扫描器。本发明由可自由装配的标准化激光测量模块、探针模块、扫描模块组成。其中，激光测量模块由中心通光，x?y方向可调的商用CD/DVD激光头构成，其装配在接口与常用光机械部件兼容的安装座上，可方便地与光学显微镜，光谱测量，激光直写等光学系统组合，具有成本低、使用方便、灵活，维护简易，适用场景广的优点。 |
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