| 一种用于临界尺寸原子力显微镜的摇摆Y型探针 |
| US11874613 2007-10-18 发明申请 |
| 2009-4-23 |
| 当特征尺寸小于100纳米时，测量集成电路上的结构的表面轮廓是困难的。 原子力显微镜在平坦的水平表面上提供表面轮廓测量能力，但是对于诸如MOS晶体管栅极，接触孔和通孔，互连沟槽和光致抗蚀剂图案的三维结构具有困难。 本发明公开了一种原子力显微镜探针，其具有两个原子尖端，所述尖端被构造成便于三维结构的测量。 还要求保护一种使用所公开的探针进行这种测量的方法和一种制造包括该方法的IC的方法。 |
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