| 一种扫描电子显微镜 |
| KR1020070104243 2007-10-16 发明申请 |
| 2009-4-21 |
| 目的 : 一种扫描电子显微镜被提供以实现一种紧凑的结构通过安装一控制器内部的一扫描电子显微镜体。<\/P> 构成 : 一种扫描电子显微镜主体(10)包括一样品架(11)，和一种电子设备的光学单元(20)。被安装在所述扫描电子显微镜主体以被垂直于所述样品架，所述电子设备的光学单元为在相反的方向以所述样品架，和一个真空泵(30)被安装在所述的主体所述扫描电子显微镜。一控制器(40)被安装在所述主体的所述扫描电子显微镜和控制所述电子设备的光学单元。<\/P> kipo2009<\/P> |
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