显微镜
 
US11990461  2006-8-16  发明申请

2009-4-16
 
  本发明涉及一种用于通过光学测量照射到包含颗粒的样品上的光来分析纳米或微米范围内的颗粒的装置。 因此,本发明的装置也可以称为显微镜。 所述显微镜装置包括用于使用由分束器(2)产生的准直光束或分光光束(3,4)的干涉仪装置来检测样品体积的光学特性的变化,例如空间和/或时间上的吸收和/或折射率的变化的装置。 会聚到样品中的光的波前受到样品的不均匀性的影响,并且随后在波前分析器(8)中测量所得的波前波动,所述波前分析器(8)优选是深零化干涉仪。
 
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