| 一种用于真空原子力显微镜的悬臂梁替换装置 |
| CN202321158623.2 2023-5-15 实用新型 |
| 2024-1-16 |
| 本实用新型涉及显微镜设备领域，特别涉及一种用于真空环境下的原子力显微镜的悬臂梁替换装置。本装置由悬臂梁、探针、光纤插头、光纤插座、光纤座套等组成。更换悬臂梁后，在真空外调整好悬臂梁和光纤座的位置，将光纤插头插入光纤座套，与光纤插座连接，将激光引入真空腔体内，与悬臂梁进行耦合，使原子力显微镜快速进入工作状态。本实用新型解决了悬臂梁更换后光纤光路聚焦调整麻烦的问题，无需在真空内进行复杂的调整，将真空外的光路直接引到探针附近，利用真空腔体内的光纤和悬臂梁进行耦合，通过光纤光路直接检测悬臂梁的形变，操作简单、方便，大大提高了检测效率和检测精准度。 |
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