| 带电粒子光束反射镜装置和电子显微镜 |
| EP08253293 2008-10-9 发明申请 |
| 2009-4-15 |
| 一种带电粒子光束反射装置被配置成包括至少两个静电反射镜(21，22)设置有一一线性光学轴上的预定间隔(10a)，每个具有一个通孔(21a，22a)通过它带电粒子辐射的光束从一个电子枪(11)沿一线性光学轴(10a)通过，并具有一反射的功能所述带电粒子光束或允许所述带电粒子光束通过该通孔(21，22a)在根据与所施加的电压，和一个控制器(30)控制所施加的电压到所述的静电反射镜(21，22)。所述控制器(30)施加，向每个所述的静电反射镜(21，22)，一反射电压(v1r，v2r)允许所述静电反射镜(21，22)，以反映所述带电粒子光束在一预定的定时，使得所述带电粒子光束从所述的电子枪(11)是由所述的静电反射镜反射的(21，22)多个的次数。 |
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