用于原子力显微镜的悬臂传感器
 
GB0719108  2007-10-1  发明申请

2009-4-15
 
  本发明包括一个传感器,用于使用一种原子力显微镜中,与一悬臂(20)具有至少一个检测尖端(30)和一个检测探针(40)。所述检测探针(40)被附着到所述至少一个检测尖端(30)和具有一个检测尖端接触表面(32)形,以基本上配合到至少一个部分所述检测的探针(40)。本发明还提供了一种用于该制造方法的一传感器在其一悬臂(20)与至少一个检测尖端(30)被截短,使得所述至少一个检测尖端(30)具有一个检测尖端接触表面(32)形,以基本上配合到所述检测的至少一部分探头(40)。最后所述检测探针(40)被附着到所述基本上配合检测尖端接触表面(32)。
 
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