| 用于原子力显微镜的悬臂传感器 |
| GB0719108 2007-10-1 发明申请 |
| 2009-4-15 |
| 本发明包括一个传感器,用于使用一种原子力显微镜中,与一悬臂(20)具有至少一个检测尖端(30)和一个检测探针(40)。所述检测探针(40)被附着到所述至少一个检测尖端(30)和具有一个检测尖端接触表面(32)形,以基本上配合到至少一个部分所述检测的探针(40)。本发明还提供了一种用于该制造方法的一传感器在其一悬臂(20)与至少一个检测尖端(30)被截短,使得所述至少一个检测尖端(30)具有一个检测尖端接触表面(32)形,以基本上配合到所述检测的至少一部分探头(40)。最后所述检测探针(40)被附着到所述基本上配合检测尖端接触表面(32)。 |