| 扫描探针显微镜和表面信息测量方法。 |
| JP2007245325 2007-9-21 发明申请 |
| 2009-4-9 |
| 要解决的问题 : 以测量该样品的表面形状信息和物理特性信息在一状态其应力施加到一针被降低，和以减少损坏到一种探针。溶液 : 在一表面信息测量方法，所述样品表面上的多个相邻的线被顺序地扫描在每个线，从而可以通过一个探针具有一针在其尖端往复，和所述表面信息在该样品被测量。该方法包括 : 获取过程执行一个向外的扫描和homeward扫描的同时控制所述距离所述针之间和所述样品表面，使得该状态中的所述探针是恒定的位移，其该针是由与所述样品表面接近或接触并获取测量数据的所述样品的表面，和一个提拉所述针的扫描过程通过一预定量所述其他扫描期间和一移动轨迹上执行一扫描l2从所述样品表面更远的分离比所述移动轨迹l1在一个扫描。版权 : (C)2009，inpit |
微信公众号