| 照明光学装置，显微镜装置，和图像测量装置 |
| JP2007245321 2007-9-21 发明申请 |
| 2009-4-9 |
| 要解决的问题 : 以提供一种照明光学装置能够获得高的效率和一基本上均匀的照明区域不管的观察表面的高度(在一个光学轴方向位置)。溶液 : 该照明光学装置10具有一光源11，一种光学系统12具有正折射光焦度，以及一种无焦光学系统13不具有折射光焦度。所述光学系统12和所述无焦光学系统13功能作为一聚光透镜(12和13)在一起。从该光源11光通量被引导到一个光照射通过所述聚光透镜表面10a(12和13)。所述聚光透镜(12和13)被设置在所述光源11和所述的光照射的表面10a以telecentrically照亮所述的光照射的表面10aA。即，该光源11被设置在所述前侧所述聚光透镜的焦平面(12和13)，其和所述后侧焦平面被设定为所述光照射表面10aA。所述无焦光学系统13是一可动部(调节组)当调整所述的照明区域(光照射表面10a)中所述的光学轴方向。版权 : (C)2009，inpit |
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