| 电离检测器用于环境扫描电子显微镜 |
| WOCZ08000113 2008-9-24 发明申请 |
| 2009-4-9 |
| lonisation环境扫描电子显微镜的检测器由一试样室(1)分离的从极片(4)。该显微镜具有一个孔(2)的用于通的一个主电子束(3)和与样品架(6)和至少一个检测电极(7)。一平板检测电极(7)围绕所述样品在样品平面或所述样品的下平面和所述主动侧的所述检测电极(7)面所进入的主电子束(3)。静电场定义该所述二次电子的轨迹是与分离形成的电极，包括一个减速电极(8); 一抽吸电极(9)和一个环电极(11)。 |
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