| 扫描探针显微镜双步进可拼图扫描器 |
| CN200810194864.6 2008-10-21 发明申请 |
| 2009-4-8 |
| 本发明扫描探针显微镜双步进可拼图扫描器，属扫描探针显微镜领域，包括基座(1)、 压电扫描管(2)、滑块(4)，还包括立柱(3)，所述压电扫描管和立柱并排站立并固定于基 座上，滑块设置于所述压电扫描管和立柱的顶部，滑块与立柱间设有凹槽(7)以及顶在槽口 或槽面的凸顶(8)，所述凹槽是沿压电扫描管和立柱的排列方向的，且在该方向上滑块与立 柱间的最大静摩擦力小于滑块与压电扫描管间的最大静摩擦力。本发明不增加结构复杂性， 仅需一个压电扫描管就能使探针在无反冲的前提下进行毫米以上范围原子分辨率成像搜索， 其结构极为简单、紧凑，方便其在各种极端环境下使用，能大大地降低控制信号间的干扰， 并能减少温漂，提高稳定性。 |
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