| 针尖扫描式原子力显微镜的光束跟踪装置 |
| CN200810202607.2 2008-11-12 发明申请 |
| 2009-4-8 |
| 一种针尖扫描式原子力显微镜的光束跟踪装置，由分立的激光光源 模块、扫描模块和探测模块组成，所述的激光光源模块包括激光器和准 直透镜，所述扫描模块包括z扫描器、xy扫描器、小孔光阑、物镜和微 悬臂探针，所述的z扫描器和xy扫描器构成扫描器，所述小孔光阑位于 所述的z扫描器的顶端中心，所述物镜固定在所述的z扫描器的底端中 央，所述微悬臂探针通过连接件固定在所述的z扫描器的底端，而且所 述的微悬臂探针的针尖之背的一固定点位于所述物镜的焦点；所述探测 模块包括成像透镜、光电探测器及其三维位置调整件构成，所述成像透 镜位于所述的微悬臂探针的针尖之背的反射光路上，所述的光电探测器 置于所述成像透镜的像方焦平面上。 |
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