| 一种用于扫描探针显微镜的压电陶瓷扫描器 |
| CN200820060198.2 2008-6-24 实用新型 |
| 2009-4-8 |
| 本实用新型涉及一种用于扫描探针显微镜的压电陶瓷扫描器，主要包括外 壳、压电陶瓷管I、压电陶瓷管II、导电基座和塑胶导线，所述压电陶瓷管I 为控制XY方向的压电陶瓷管，压电陶瓷管I的内外表面分别涂有相互对应的4 个导电层，分成4组；所述压电陶瓷管I通过绝缘套与压电陶瓷管II相连，所 述压电陶瓷管II为控制Z方向的压电陶瓷管，压电陶瓷管II的内外表面分别涂 有导电层，所述导电基座中央置放磁粒，所述塑胶导线自压电陶瓷管的不同导 电层引出。本实用新型的有益效果为：克服了现有产品XY方向与Z方向寄生 电容存在而引起的相互耦合，影响对压电陶瓷扫描器的控制精度下降的不足。 |
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