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反射式电子显微镜在电过程监测中的应用

US11451698 2006-6-13 发明授权

2009-4-7

一个实施例涉及使用电子检查衬底的方法。在电子源和衬底之间的多个电压差的衬底的区域上执行反射镜模式电子束成像，并且存储对应于多个电压差的图像数据。计算该区域中的特征的成像方面相对于电子源和衬底之间的电压差的变化的量度。还公开了其它实施例和特征。