| 原子力显微镜和探针 |
| JP2007236099 2007-9-12 发明申请 |
| 2009-4-2 |
| 要解决的问题 : 以实现一种原子力显微镜的探针具有高特性的频率，即使在空气或液体中，同时降低该流体电阻。溶液 : 在一种原子力显微镜的探针10，表面形状信息是通过固定一种探针16获取一个转动体17上，具有圆形横截面，可旋转与相对于支承梁12，13的所述两个端部和扫描一待测物体。所述转动体17被连接到所述支撑梁12，13通过弹性体14，15具有圆形横截面。与所述的扭转振动的一种弹性机构18，其构成是与所述转动体17和所述弹性体14，15在一固定频率，驱动所述探针16可以容易地实现的。由于该探头的所述中心轴16具有一个所述空间的扭转位置关系与所述中央所述旋转的轴体17，由于摩擦影响可以减少与该驱动所述探头16在该待测物体的所述垂直方向。版权 : (C)2009，inpit |
微信公众号