| 原子力显微镜系统 |
| JP2007238219 2007-9-13 发明申请 |
| 2009-4-2 |
| 要解决的问题 : 以提供一种轻敲模式的原子力显微镜(AFM)其观测精度被提高。溶液 : 所述原子力显微镜系统相关，以本发明的可视化所形成的所述样品的表面在该轻敲模式，并包括 : 所述前端的一悬臂; 一激光的光供给装置; 一个光检测装置; 一个压电元件具有一其上的样品; 一控制装置，用于控制所述压电元件，以扫描该样品，同时保持所述原子力恒定; 一个用于解调的输出电压调制解调装置通过原子力; 和一估计装置，用于估计所述形成所述样品表面通过所述表面形成的观察者从所述输出电压通过所述解调装置解调。版权 : (C)2009，inpit |
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