| 光学扫描显微镜 |
| JP2007240103 2007-9-14 发明申请 |
| 2009-4-2 |
| 要解决的问题 : 以提供一种光学扫描显微镜，其不改变观察放大率，即使得多的所述物镜的工作距离被改变。溶液 : 所述光学扫描显微镜1包括 : 一个物镜光学系统11用于改变光从一个样品一种以几乎平行的光束; 一个光学图像形成系统10用于形成一图像在一预定位置与所述近似平行光束从所述物镜光学系统11; 一种光瞳投影光学系统9用于使所述的光与其中所述图像被形成在所述预定所述的光学图像形成系统10的位置几乎平行的光束; 一横向方向扫描装置8用于扫描所述样品的观察位置一在一横向方向通过几乎平行光束的偏转角度从该光瞳投影光学系统9; 和一透镜驱动装置12用于驱动的至少一个所述的光学图像形成系统10或所述光瞳投影光学系统9在一个光学轴方向。所述的光学图像形成系统10被设置使得其前侧焦点可以位于该后侧附近所述物镜的聚焦光学系统11当设定所述侧的所述样品一作为一前侧。版权 : (C)2009，inpit |
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