| 聚焦调整单元和光学扫描显微镜 |
| JP2007240104 2007-9-14 发明申请 |
| 2009-4-2 |
| 要解决的问题 : 以提供一种光学扫描显微镜的观察倍率是不改变,即使得多的所述物镜的工作距离被改变。溶液 : 所述聚焦调整单元1是用于一显微镜系统与一个物镜光学系统12用于改变从一个样品一种以几乎平行光束的光,和一个光学图像形成系统11用于形成一个图像在一预定位置与所述近似平行光束从所述物镜光学系统12,和所述物镜之间设置光学系统12和所述的光学图像形成系统11,以改变所述物镜的工作距离光学系统12。所述聚焦调整单元1包括一前组光学系统的Ga和Gb后组光学系统具有折射光焦度和设置在至少从所述前侧的顺序当设定所述物镜光学系统12侧作为前侧和所述的光学图像形成系统11作为一后侧,和一透镜驱动装置18驱动的至少一个所述的前组光学系统Ga或所述的后组光学系统中的Gb一个光学轴方向,以相对改变两个光学系统之间在所述的光学轴方向距离。所述的前组光学系统Ga被设置使得其前侧焦点可以位于该后侧附近所述物镜的聚焦光学系统12。版权 : (C)2009,inpit |