用于显微镜的照明装置
 
JP2007240120  2007-9-14  发明申请

2009-4-2
 
  要解决的问题 : 提供一种蝇眼用于有效地投影光学系统照明光从光源到一个样品表面。溶液 : 所述照明装置,用于显微镜包括一个聚光透镜,用于从所述光源发出的发散光改变到平行光束,一种蝇眼透镜的后侧焦点位置附近设置所述聚光透镜,和一个垂直的光投影管用于形成多个光源的投影图像的所述蝇眼透镜到所述入射光瞳的一个物镜,和包括一个调整装置,用于改变所述聚光透镜之间的一个光通量直径和所述蝇眼透镜在根据与所述物镜的选择。版权 : (C)2009,inpit
 
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