扫描电容显微镜和光谱学的装置和方法
 
US11985597  2007-11-15  发明申请

2009-4-2
 
  本发明描述了一种用于测量扫描探针显微镜的导电尖端和样品表面之间的电容的装置和技术。 将高频数字矢量网络分析仪连接到原子力显微镜悬臂的探针尖端,并由数字计算机使用AFM控制器和矢量网络分析仪之间的数字触发信号来协调数据收集。 本发明描述了用于在样品上的单点处成像尖端-样品电容和光谱测量的方法。 描述了一种用于系统校准的方法。
 
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