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产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

使用扫描电子显微镜观察样品的方法和系统

US12153333 2008-5-16 发明申请

2009-4-2

本发明的目的在于，在使用扫描电子显微镜观察由检查装置检测到的试样上的缺陷的情况下，缩短自动聚焦时间，提高稳定性。基于半导体设计信息将用于自动聚焦的一个或多个区域设置在成像区域或其附近。通过使用这样设置的区域执行自动聚焦来确定成像区域中的目标聚焦位置。所确定的目标聚焦位置用于低倍率成像和高倍率成像。基于半导体设计信息选择适合于每个成像区域的自动聚焦模式。