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一种样品检验测量方法及扫描电子显微镜

US12238171 2008-9-25 发明申请

2009-4-2

作为实现大纵横比接触孔的精确观察，检查或测量的一个方面，提出了一种在将第一电子束扫描到样品上以对样品充电之后扫描第二电子束的方法和装置，其中使第一电子束的束径大于第二电子束的束径。