| 用于反向散射全场干涉合成孔径显微镜的部分相干照明 |
| US12131390 2008-6-2 发明申请 |
| 2009-4-2 |
| 本发明涉及用于样品的三维成像的方法和装置。 本发明提供一种光源，其由以部分空间相干性为特征的光束提供。 光束被聚焦到样品上，并且来自样品的散射光与来自光源的参考光束叠加到焦平面检测器阵列上以提供干涉信号。 导出前向散射模型，该前向散射模型基于干扰信号将测量数据与对象的结构相关联，以允许反向散射问题的解，从而可以推断出其三维结构。 可以是固定的或可变的源的部分空间相干性可以有利地提供对多个散射伪影的抑制，从而改善图像质量。 |
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