| 用于高分辨率三维共焦扫描透射电子显微镜的方法和装置 |
| US11860760 2007-9-25 发明申请 |
| 2009-3-26 |
| 一种共焦扫描透射电子显微镜，其包括 : 电子照明装置，其提供在限定传播轴的方向上传播的入射电子束；以及精密样品扫描台，其沿着传播轴定位并且能够在横向于传播轴的至少一个方向上移动。 所述精密样品扫描台被配置为相对于所述入射电子束定位样品。 投影仪透镜接收透射电子束并将该透射电子束聚焦到像平面上，其中透射电子束是由入射电子束照射的样品产生的。 将检测系统放置在图像平面中。 |
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