| 用于校正测量的形状数据的方法，用于测量的校正程序的形状数据，和扫描型探针显微镜 |
| JP2007228171 2007-9-3 发明申请 |
| 2009-3-19 |
| 要解决的问题 : 提供一种校正测量的形状数据等的方法，在一形状的测量一样品的表面能够进行正确的表面形状的管理实现一种装置，用于适当地校正所述形状的误差由于温度波动测量数据。溶液 : 该方法用于校正所述形状的测量数据是由 : 一获取所述形状的测量步骤S11基于所述样品的表面由一个测量数据在所述探头由所述主扫描的扫描动作及一种原子力显微镜100中所述垂直扫描等; 一步骤S12中获得倾斜的数据用于每个主关于一个基于多个主扫描线的线在该形状测量; 步骤13制造的所述主扫描线的所有倾斜角度相等; 步骤14获得的每个的平均高度的多个基于该形状的主扫描线测量数据; 和一步骤15制造的所述所有的主扫描线的平均高度等于通过校正每个平均高度所述多个所述的基础上的主扫描线的所述的平均高度的数据用于每个主扫描线。版权 : (C)2009，inpit |
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