| 扫描探针显微镜和悬臂管理方法。 |
| JP2007228172 2007-9-3 发明申请 |
| 2009-3-19 |
| 要解决的问题 : 以提供一个扫描探针显微镜和悬臂管理方法适合用于自动检查过程能够与自动更换一个新的探头或感应的一个用户以代替一当所述的探头尖端的所述探针具有磨损而可靠地监测所述真实时间中所述探针尖端的条件和在短时间。溶液 : 所述探针扫描显微镜是一种原子力显微镜用于测量样品11(半导体晶片35)与所述该悬臂14的探针13包括 : 一个吸收力测量装置(步骤13等)，用于测量所述的吸收力该样品11和所述探针13之间的作用，当所测样品11是与该探针13，或当所述探头13被从所述样本释放的11; 和一尖端条件确定装置(步骤14等)，用于确定所述所述探针尖端的条件在所述根据该测量值之间的所述比较的输出由所述的吸收力测量装置和所述参考值。版权 : (C)2009，inpit |
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