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产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

探针显微镜的装置

US11838833 2007-8-14 发明申请

2008-7-17

一种原子力显微镜感测结构，包括基板，柔性膜以及致动元件。所述柔性膜具有夹持到所述衬底的第一端和夹持到所述衬底的相对的第二端。所述膜的中心部分和所述衬底之间限定第一间隙宽度。所述膜的外围部分和所述衬底之间限定第二间隙宽度。所述第一间隙宽度不同于所述第二间隙宽度。所述致动元件至少邻近所述第一端和所述第二端设置，并且构造成相对于所述衬底移动所述膜。