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4
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干涉式合成孔径显微镜
US11775572 2007-7-10 发明申请
2008-6-12
本发明涉及用于样品的三维成像的方法和装置。 本发明提供了一种光源,该光源具有以时间相关光谱为特征的基本上准直的光束。 光束被聚焦在以沿光束传播轴的固定位移为特征的平面内,并且来自样品的散射光与从基本上准直的光源得到的参考光束叠加到焦平面检测器阵列上以提供干涉信号。 导出将测量数据与对象的结构相关联的正向散射模型,以允许基于干扰信号求解反向散射问题,从而可以近实时地推断样品的三维结构
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