| 光学显微镜系统使用一个偏振器和快速傅里叶变换方法用于一种纳米线装置 |
| KR1020070061460 2007-6-22 发明申请 |
| 2008-6-11 |
| 目的 : 一种光学显微镜系统，用于感测纳米线，通过使用一种偏光板和所述快速傅里叶变换方法是提供一种纳米线之间，以使对准样品和一图案通过使用光学显微镜。结构 : 光源单元(10)产生的光并将其供给到一个用于纳米-线元件样品。一种旋转偏振板(20)所提供的光的路径上被形成从该光源单元中，以便极化光。一光学显微镜(30)检测一种纳米线图像通过使用该光极化在所述的旋转偏振板和输入到所述样品。一种CCD相机(31)中所述的光学显微镜的一个区域中形成，以便照片和存储所述纳米线图像检测所述的光学显微镜。一种数据处理单元(50)执行所述快速傅里叶用于存储所述的纳米线图像变换过程通过所述CCD照相机，kipo2008 |
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