| 一个接口,一用于观察物体的方法在非真空环境和一种扫描电子显微镜 |
| WOIL07001265 2007-10-23 发明申请 |
| 2008-5-2 |
| 一个接口,一扫描电子显微镜和一用于观察物体的方法,其被定位在一非真空环境。该方法包括 : 通过至少一个电子束,它是一种真空环境中产生的通过至少一个孔径出的一孔阵列和通过至少一个的超薄膜,其密封所述至少一个孔; 其中所述至少一个电子束被引导向所述对象; 其中所述至少一个的超真空环境之间的薄的膜承受一压力差和所述非真空环境; 和检测颗粒中产生响应于所述至少一个电子束之间的交互和所述对象。 |