| 扫描探针显微镜和扫描机构，其 |
| JP2007311043 2007-11-30 发明申请 |
| 2008-5-1 |
| 要解决的问题 : 以提供一个扫描探针显微镜能够更准确地测量所述表面的形状或物理一个测量目标的特性由增强s\/N比。溶液 : 所述扫描探针显微镜1是配备与观察光接收机构30用于聚光和接收所述观测发射的光L3从所述测量该测量目标的区域S，其面对所述悬臂的前端10和一位移检测机构20用于照射该悬臂10与检测的光(L1)，具有一种波长的不同从所观察的光L3，以测量所述检测通过所述的悬臂10反射的光L1以检测该悬臂10所述的位移。所述的光学路径所述检测光(L1)和所述的光学路径所观察的光L3被设定从而以穿过一个公共光学路径，至少在它们的一部分和一个介电束分束器(光学滤波器)32，具有所观察的光学特性，其中所述的透射率的光L3的是高于所述检测光(L1)是设置在所述公共光。版权 : (C)2008，inpit |
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