| 扫描传输电子显微镜，和象差测量方法。 |
| JP2005373756 2005-12-27 发明申请 |
| 2007-7-12 |
| 要解决的问题 : 以提供一种更简单和易于-到-使用用于调整方法的一个像差校正装置在一个扫描传输电子显微镜中与内置像差校正装置，和以提供一个扫描传输电子显微镜与这种功能。溶液 : 一扫描传输电子显微镜获得一种Ronchi-克使用一球面样品，并使测量的各种像差系数从一个环的内和外直径的图形作为阱作为该样品的半径，其出现在所述Ronchi-克，然后使调整一球形表面的像差校正装置根据与所述测量结果中。版权 : (C)2007，inpit |
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