| 方法用于操作一个含有一个扫描探针显微镜测量系统，和测量系统 |
| WODE06002298 2006-12-21 发明申请 |
| 2007-7-12 |
| 本发明涉及一种方法用于操作一个含有一个扫描探针显微镜测量系统，特别是一种原子力显微镜，和以一种用于检查一测量样品的测量系统使用一个扫描探针显微镜和用于光学检查所述样品。在所述的方法，一种光学图像的一个待检查的测量样品的测量部分，所述图像被记录与所述的助一光学记录装置，是一种显示装置上显示，一个选择的一种所述的光学图像中的位置被检测到，并且，用于一个扫描探针测量，测量探针，其被配置用于所述扫描探头测量被移动，使用一移动装置移动所述测量探针和所述测量样品的相对以彼此，以一测量位置，其中所述的光学图像中被分配给所选择的位置在根据与坐标变换，通过该运动的装置被控制在根据与所述坐标变换，其中一个先前所述的光学图像的坐标系统之间确定的分配和一通过一覆盖的空间的运动坐标系统所述测量探针和所述测量样品的位置形成与所述坐标变换，其中所述移动位置包括所述测量位置。 |
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