与集成致动器用于一个探针显微镜探针模块
 
WOUS06048743  2006-12-20  发明申请

2007-7-12
 
  一个扫描探针显微镜包括一个探头模块。在一些实施例所述模块被容易地除去从所述的横向和垂直扫描机构。该模块还包括一个或多个垂直运动的致动器,其可以通过一多路径被控制的反馈控制回路。通过耦合第二的垂直运动的致动器直接向所述探针所述所扫描的速度可以增加在该现有技术的显微镜的速度。所述反馈回路的一部分的所述探针显微镜和反馈路径可以被独立地设计成创建独立控制的多路径。
 
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