| 显微镜 |
| JP2005355672 2005-12-9 发明申请 |
| 2007-6-28 |
| 要解决的问题 : 提供一种显微镜能够容易地获得的一个观察对象的尺寸和正确即使如果一个图像的纵横比被改变。溶液 : 该扫描电子显微镜扫描电子束的一测试件上二维和产生两个三维图像数据40基于二次发射的电子从该测试片上，并组成刻度41a，41b用于表示一规定的长度(1μM)所述图像数据上沿两个垂直和水平方向相互垂直。该刻度41a的尺寸，41b由在所述图像数据40是通过一比例确定计算基于在所观察的尺寸范围(扫描范围)。版权 : (C)2007，inpit |
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