产业集群信息网

产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

用于探针显微镜的具有集成致动器的探针模块

US11643449 2006-12-20 发明申请

2007-6-28

一种扫描探针显微镜，包括探针模块。在一些实施例中，模块容易从横向和垂直扫描机构中移除。所述模块还包括一个或多个垂直运动致动器，所述垂直运动致动器可由多路反馈控制回路控制。通过将第二垂直运动致动器直接耦合到探针，扫描速度可以比现有技术显微镜的速度提高。反馈回路是探针显微镜的一部分，并且反馈路径可以被独立地设计以产生对多个路径的独立控制。