| 电子显微镜 |
| JP2005333512 2005-11-18 发明申请 |
| 2007-6-7 |
| 要解决的问题 : 以提供一电子显微镜提供与一个真空排气系统，其可以抽空一个电子枪室在高真空和低真空，通过使用最小数目的泵。溶液 : 一第一泵抽空该电子枪室的所述的电子显微镜在高真空，和一第二泵同时用于减少第一的背压力泵进行排空和低真空的排空样品室被提供。在这种结构，所述的排空，使用三个泵通过执行在过去，变得可能，以执行通过使用一泵用于高真空的排空和一泵用于降低所述高真空排空后的压力泵。通过该上方，功率可实现节能和节省空间。版权 : (C)2007，inpit |
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