| 半导体线宽测量扫描电子显微镜的自动镜头校正方法 |
| CN200710094080.1 2007-9-11 发明申请 |
| 2009-3-18 |
| 本发明公开了一种半导体线宽测量扫描电子显微镜的自动镜头校正 方法，通过对产品实际线宽测量过程中，对待测图形在自动对焦时在不同 焦距的图形进行图形质量分析来确定电子光学系统中的像差，并且根据该 像差偏差的严重性做出是否进行测量结果修正，自动像差调整，或者人工 像差调整。本发明在不影响生产的同时，对光学系统的较小偏差进行测量 值修正以及自动校准，对光学系统的较大偏差报警，以提高生产效率及产 品的测量精度。 |
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