| 扫描电子显微镜 |
| CN200810085128.7 2008-3-21 发明申请 |
| 2009-3-18 |
| 一种扫描电子显微镜，具有电子源，其阴极和阳极保持恒 定的高抽取电压，可以得到高亮度、低能散的一次电子束；一个高压 管系统，包含上高压管和下高压管，二者独立供电，使一次电子在其 内部具有高能量，减小电子间相互作用；一个物镜聚焦系统和减速装 置，将一次电子束以特定着陆能量聚焦于样品上；偏转系统含有一个 环形多极的静电偏转器，其静电偏转器位于聚焦磁场内，形成聚焦偏 转复合场，具有更小的偏转像差，可以对样品进行快速高分辨大视场 成像。 |
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