| 全面相消抗温漂扫描探针显微镜探头 |
| CN200720130842.4 2007-12-10 实用新型 |
| 2009-3-18 |
| 全面相消抗温漂扫描探针显微镜探头涉及扫描探针显微镜，包括探针座、样品座，还包 括分别称为左压电管和右压电管的两个压电管，所述左右压电管并排站立并固定于基座，探 针座设置于其中一个压电管的自由端，样品座设置于另一个压电管的自由端并对着探针座， 所述左右压电管中至少包含一体或分体设置的一个X定位、一个Y定位和一个Z定位。本发 明可有效地抑制温度漂移，还具有对外震动和声波的减缓、极端物理条件兼容等优点。 |
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