| 具有自由形态照明系统的高性能EUV显微镜 |
| US18202301 2023-5-26 发明申请 |
| 2024-1-11 |
| 一种具有自由形态照明系统的高性能EUV显微镜，包括：EUV光源，输出EUV光； 一个球面镜，其接收并反射从EUV光源输出的EUV光，并且包括用于通过双轴角度扫描来控制入射光的反射方向的双轴驱动部； 一个平面镜，其接收从球面镜反射的反射光并向测量目标提供照明光，并且其中以每个角度布置有多个镜单元； 波带片透镜，用于聚焦测量光，所述测量光是通过所述平面反射镜形成的照明光入射到所述测量靶上后被反射； 以及光电探测器，用于接收由波带片透镜聚焦的测量光，其中球面镜的反射角和平面镜的反射角分别被选择性地控制。 |
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