| 扫描探针显微镜，和局部使用其电特性的测量方法 |
| JP2007219567 2007-8-27 发明申请 |
| 2009-3-12 |
| 要解决的问题 : 以提供一个扫描探针显微镜能够测量的一局部的电特性高度准确地，即使在该情况下的样品具有不规则性。溶液 : 一样品表面的高度信息是通过振动获得的悬臂22提供与一个针形探头23所述的尖端部，所述的悬臂22和扫描和停止振动时，一悬臂22的位置被控制从而，以保持所述所述探针的尖端23基于从所述样品表面在一恒定距离在所述样品表面的高度信息，和所述从所保持的状态是弯曲的悬臂22所述悬臂22的高度，所述探头和所述的尖端23是在凹进到该样品51。由于该探针23所述的该尖端之间的距离和所述样品表面保持恒定，一压痕该探针23的深度可以被保持恒定，即使以该样品51具有不规则性仅通过弯曲所述悬臂22为作为一个固定量得多。因此，该局部电特性可以测量该样品51的高度准确地，即使在该情况下具有不规则性。版权 : (C)2009，inpit |
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