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一种以减小冲击力的攻丝模式操作原子力显微镜的方法
US11851110 2007-9-6 发明申请
2009-3-12
在分接式原子力显微镜(AFM)系统中,以不同于探针的第一固有频率的激励频率激励探针,以产生响应信号,该响应信号表示AFM系统的“非碰撞”状态和“碰撞”状态之间的擦除分叉,从而在“碰撞”状态中产生附加的特征频率分量。 实时监测附加特征频率分量的幅值,并且调节探针-样品分离以将监测的幅值保持在最佳值,以在近掠射条件下操作AFM系统。
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