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产业专利数据

振荡扫描探针显微镜

US12214081 2008-6-16 发明申请

2009-3-12

一种扫描探针显微镜，其易于使用、制造成本低、扫描速率快，并且具有广泛的应用。振荡传感器具有高谐振频率。因为使用振荡器，所以不需要激光器的对准。此外，可以以更快的速率实现探头接近和扫描。