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原子力显微镜
US18021286 2021-8-18 发明申请
2024-1-11
基于原子力显微镜(“AFM”)的装置使用光源和分离光学界面,将光束分离成信号光束和参考光束。 信号和参考光束都聚焦在AFM悬臂附近。 光束移位器在信号光束和参考光束之间引入横向移位,横向移位使得在光束移位器和聚焦透镜结构之间的至少一个平面中,信号光束的中心与参考光束的中心分开大于它们在该平面上的光束直径之和的一半。 检测器操作以确定信号光束和参考光束之间的光路长度差,从而确定关于悬臂的移动的信息。
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