| 用于显微镜和扫描探针显微镜探针 |
| JP2007212069 2007-8-16 发明申请 |
| 2009-3-5 |
| 要解决的问题 : 以提供一种用于显微镜探针可测量的多个的物理特性在该样品的表面形状和所述的微区在所述相同的时间，和一个扫描探针显微镜。溶液 : 该用于该显微镜配备有一悬臂探针22，该探头部分21提供到所述引导所述悬臂的端部，第一的金属结构29提供所述悬臂和所述的上表面上具有一第一端部291在所述悬臂的所述前端部，第二的金属结构30设置在所述所述悬臂的上表面和具有第二端部301在所述悬臂的所述引出端部; 通过所述叠加形成一温度测量元件第一和第二的端部291和301，该导电层70形成于所述探头部分21和在其附近，第三的金属结构80上提供所述悬臂的所述的上表面和连接到所述导电层70和一电特性检测元件包括所述导电层70和第三的金属结构80。第一-第三的金属结构29，30和80是一中心轴上形成一在一重叠状态在所述悬臂的所述基端部。版权 : (C)2009，inpit |
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