| 扫描探针显微镜 |
| JP2007212132 2007-8-16 发明申请 |
| 2009-3-5 |
| 要解决的问题 : 以提供一个扫描探针显微镜可观察的每个单独的能量电平晶体通过一过程引起的缺陷或每个缺陷。溶液 : 一个氧化膜2正下方的所述尖端和在所述一种导电探针所述的尖端附近的周边3是与激励光照射10，和载波被发出从一晶体缺陷，引起一个缺陷由所述内部过程或等一半导体衬底1具有所述能量电平对应的所述波长的所述激励光10，并检测作为一种扩频的偏差造成的耗尽层的多数载流子的扩散，以从而分析所述晶体缺陷的分布或所述通过所述过程引起的内部存在的缺陷所述半导体衬底1。版权 : (C)2009，inpit |
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