| 扫描探针显微镜和探针碰撞回避方法及其 |
| JP2007215760 2007-8-22 发明申请 |
| 2009-3-5 |
| 要解决的问题 : 以避免该情况，其中多个探针的一种多扫描探针显微镜(mpspm)的碰撞与一个另一。溶液 : 这种多扫描显微镜包括一个台2安装有一样品W，所述多个探针的31，32，33和34，其被设置facedly到所述样品W和被可移动相对于所述级2; 一个检测部分6用于检测该样品的表面W之间的交互和所述探针31，32; 33和34; 一种图像形成部73用于形成所述样品W的表面图像，基于所检测到的交互通过所述检测部6; 一探针-基于图像的形状估计部78，用于获取所述表面上的所述探针31，32，33和34通过所获取的图像形成部73和估计所述形状的所述探针31，32，33和34从所述各自的表面图像; 和一个不安全的面积计算部79，用于获取关于所述探针31的形状信息，32，33和34获得由所述探针-形状估计部78和计算的不安全区域，其中每个所述探针的31，32; 33和34可以与另一探针，围绕所述每个探针发生碰撞。版权 : (C)2009，inpit |
微信公众号