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产业专利数据

扫描电子显微镜

US11896622 2007-9-4 发明申请

2009-3-5

提供了一种扫描电子显微镜。该扫描电子显微镜包括产生一次电子束的电子束源、会聚该一次电子束的聚光透镜、在其表面上形成有金刚石膜的基板，该金刚石膜具有用于使该一次电子束通过的孔，以及扫描单元，该扫描单元用该一次电子束二维扫描样品。